VCP线高速镀铜添加剂XY-704
一、 简介
XY-704是用于垂直连续电镀线高速镀铜工艺的单组分酸铜添加剂。其镀铜分布均匀、延展性佳且具有优异深镀填充能力,可用于喷流式或空气搅拌。本品使用范围宽、操作维护也非常简单。
二、 特点
1、 镀层延展性良好,具有良好的耐热冲击能力。
2、 在高电流密度下,具有优良的深度能力和分布均匀性。
3、 安定性好,镀液稳定,添加范围较宽。
4、 消耗量约为8000-12000A·H/L。
三、 镀液组成与操作条件
(1)控制表格
控制项目 |
控制范围 |
建议 |
硫酸銅 |
50 – 90 g/L |
70 g/L |
硫酸 |
210– 250 g/L |
230 g/L |
氯離子 |
30 – 75 ppm |
60 ppm |
XY-704 |
1.0 – 5.0 ml/L |
2.5 ml/L |
温度 |
22 – 25 ºC |
23 ºC |
電流密度 |
15 – 45 ASF |
依据设备 |
阳极与阴极比 |
2:1 |
2:1 |
(2)配槽程序
a. 加DI水至大约1/2槽体积;
b. 加DI水后,在搅拌下小心及缓慢地加入所需量的AR级浓H2SO4,注意不要集中在一个地方加入H2SO4,以防局部过热;
c. 加入所需量的硫酸铜;
d. 在搅拌下加入所需量的CP级盐酸;
e. 待镀液冷却设定温度;
f. 均匀摆放好装好磷铜球的阳极钛篮并装好阳极袋;
g. 调整好液位,分析硫酸铜、硫酸、氯离子含量并调整;
(3).新配槽或碳处理后拖缸方法
a. 分析调整槽液中硫酸铜、硫酸、氯离子含量符合要求后准备拖缸;
b. 加入开缸量的XY-704(2ml/l);
c.用5ASF电流密度DC(直流)拖缸4-6小时,同时用碳芯进行过滤;
d. 用10ASF电流密度DC拖缸2-4小时,同时用碳芯进行过滤;
e. 用15ASF电流密度DC拖缸2-4小时,同时用碳芯进行过滤;;
f. 用新拖缸板以20ASF电流密度拖缸1-2小时;
g. 吊出拖缸板,分析硫酸铜、硫酸、氯离子含量并调整;
(4). 槽液中化学品补充方法
a.硫酸铜
(1)试药:浓氨水、0.0575mEDTA、MX指示剂。
(2)方法:取样1ml加入250ml锥形瓶中,加50ml水,再加入8-10
滴的浓氨水,再加入MX指示剂,以0.0575m的EDTA滴至紫色为终点。
(3)计算:CuSO4(g/l)=14.36*mls
b.硫酸
(1)试药:1N NaOH 、MO指示剂
(2)方法:取样2ml加入250ml锥形瓶中,加水50ml,加3-4滴MO
指示剂,以1N NaOH滴至黄色为终点。
(3)计算:H2SO4(g/l)=24.5*mls
c.氯离子
(1)试药:1:1 HNO3 、0.01N Hg(NO3)2
(2)方法:取样25ml加入250ml锥形瓶中,加入25ml水,加入1:1的
HNO3 10ml,加入3-5滴0.1 AgNO3 溶液变浊,用0.01 Hg(NO3)2滴至溶液变清为终点。
(3)计算:CL—(ppm)=14.2*mls
d.硫酸铜、硫酸、氯离子按分析结果进行补充调整;
e. 光剂含量(XY-704)按照自动添加(一般情况下),当分析结果偏低时,按配槽浓度进行补充调整,当分析结果偏高时,将自动添加关闭并通过分析进行调整;
(5). 槽液维护和保养方
a. 添加铜球时小心操作,杜绝铜球掉进槽内产生副产物累积;
(6). 使用滤芯前的处理方法:
a. 过滤棉芯:
用5%-10%稀硫酸浸洗过滤芯4小时以上(要求泡透过滤芯);
用自来水清洗干净;
放入过滤泵使用;
b. 过滤碳芯:无需浸泡,可直接放入过滤泵使用
(7).活性炭处理
1、将槽液抽入处理槽中,加热至60℃
2、加入35%双氧水0.1-2毫升/升,并持续搅拌2小时。
3、加入粉状活性炭3-5克/升,并持续搅拌2小时。
4、以滤纸滤过少许槽液,若槽液颜色变回蓝色,则停止加热,使自行冷却,并静置8小时以上;若槽液仍为绿色,则继续加热至蓝色。
5、以过滤机加过滤助剂滤出活性炭后,将槽液抽回电镀槽,分析校正各成分,并加入铜光剂后,开始电镀。
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